[전기/전자][생산기술연구원] 고속 멀티 프로빙 웨이퍼 검사시스템

기술 개요

• 반도체 웨이퍼의 양풍/불량품을 고속으로 검사하기 위해 반도체 후공정에서 사용되는반도체 웨이퍼 검사 시스템에 관한 기술

- 프로브카드, 반도체 웨이퍼 및 척을 고정밀로 얼라인(정렬)하는 기술

- 상기 고정밀로 얼라인된 프로브카드, 반도체 웨이퍼 및 척을 기계적으로 카트리지화하는 기술 

- Payload가 이송한 고중량의 카트리지률 로봇 핸들러률 통해 전달 받아 고속 및 고정밀로이송하는 이송 로봇에 관한 기술,

- 이송 로봇을 통해 이송된 복수의 카트리지들을 멀티챔버에서 동시에 검사하기 위한 멀티프로버 통합 운영 시스템에 관한 기술


기존기술 한계

• 싱글 프로버 기술은 반도체 웨이퍼의 1회 검사 1 개의 웨이퍼만 검사할 수 있는 시스템으로 테스트시 시간이 오래 걸림


개발기술 특성

• 멀티 프로버 기술은 반도체 웨이퍼의 1회 검사 시 복수의 웨이퍼를 동시에 테스트할 수 있는 시스템으로 테스트 시간이 단축되어 테스트 효율이 증대됨


주요도면/사진


기술적용 및 활용분야

• 반도체 웨이퍼(메모리, 비메모리 모두 포함) 테스트 분야의 멀티 프로버 시스템(장비)에 적용 가능

• 특히, 프로브카드, 웨이퍼, 척으로 이루어진 카트리지 조립체를 구성하여 테스트하는 기술이므로, 멀티 프로버 시스템뿐만 아니라, 프로브카드 시장으로 확장하여 일본 기업 우위의 프로브카드에 대해서도 기술사업화 및국산화 대응 가능


시장동향

• 멀티 프로버 시스텝뿐만 아니라. 프로브카드 시장으로 확장하여 일본 기업 우위의 프로브카드에 대해서도 기술사업화 및 국산화 대응 가능

• 세계 프로브카드 시장의 규모는 2014년 12.9억 달러에서 연평균 6.6% 성장하여 2021년에는 19.7억 달러에달했으며, 이후 연평균 4.4% 성장하여 2023년에는 21.8억 달러의 규모에 이를 것으로 전망

• 프로브카드 주요 경쟁사 및 마켓쉐어 현황

- 프로브카드 제품 관련 상위 10개社가 Market-Share의 74%를 차지

- 프로브카드 Market-Share 국내 1위 업체는 마이크로프렌드社이며, 전체 프로브카드 시장에서는 7위, 메모리용 프로브카드 시장에서는 4위의 시장 점유율을 차지 


기술완성도

• TRL 4 : 구성품/Breadboard에 대한 실험실 수준의 성능 입증 단계


지식재산권 현황

• 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치 ( 2020. 09.03 / 10-2020-0112232 )

• 멀티프로버의 채널 락킹장치 ( 2020.09.25 / 10-2020-0124807 )

• 멀티 프로버용 척 조립체 및 체널 ( 2018.11.28 / 10-2018-0149659 / 10-2164132 )

• 멀티프로브사스템 ( 2017.11.16 / 10-2017-0153155 / 10-2049413 )

• 기판 검사 카트리지 및 이의 제조 방법 ( 2017.09.28 / 10-2017-0126318 / 10-2014334 )


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